超高真空-溅射离子泵
溅射离子泵，真空使用范围1pa--- 10-10pa. 主要应用领域原子能工程，高能加速器，宇宙空间的模拟，核工业，表面物理，高纯度的金属冶炼等等。目前市场上的溅射离子泵有 两级溅射离子泵，三级溅射离子泵，还有复合溅射离子泵。
两级溅射离子泵，内部有阴极和阳极两极来组成，对惰性气体的抽气能力要差一些，特别是对氩气是不抽气，它是不稳定。
三级溅射离子泵，相比两极溅射离子泵，三级溅射离子泵除了阴阳两极外，它的泵壁也作为一极。所以成为三级溅射离子泵。对惰性气体的抽气能力比较强，但是对氢气的抽气能力就比较差。所以说需要更高 级别的离子泵来解决这个问题。就是复合溅射离子泵。
复合溅射离子泵，复合了钛升华泵或者是neg的吸气泵，增加他对小分子气体的抽吸能力，所以说我们选择溅射离子泵的时候，主要还是基于你的真空腔体或者是系统当中，气体的组成成分，还有就是考虑这个性价比，另外就是考虑你所期望的真空度。
